從誤差理論來分析手持式三維掃描儀測量誤差可分為系統誤差和偶然誤差，系統誤差引起三維激光掃描點的坐標偏差，可通過公式改正或修正系統予以消除或減小。測量系統的偶然性誤差是一些隨機性誤差的綜合體現。

 

激光測距的影響

激光測距信號處理的各個環節都會帶來一定的誤差，特別是光學電子電路中激光脈沖回波信號處理時引起的誤差，主要包括掃描儀脈沖計時的系統誤差和測距技術中不確定間隔的缺陷引起的誤差，脈沖計時的系統誤差造成循環，混淆現象與測距的凸角誤差相類似。測距技術中不確定間隔更可能造成數據突變，目前，可運用一些較好的技術處理這種突變的誤差，激光測距誤差綜合體現為測距中的固定誤差和比例誤差，可以通過儀器檢定確定測距誤差的大小。

 

掃描角的影響

手持式三維掃描儀掃描角的影響包括水平掃描角度和豎直掃描角度測量的影響，掃描角度引起的誤差是掃描鏡的鏡面平面角誤差，掃描鏡轉動的微小震動，掃描電機的非均勻轉動控制誤差等因素的綜合影響"。目前掃描角測量可達很高的精度。

 

目標物體反射表面粗糙程度的影響

手持式三維掃描儀的精度與物體表面的粗糙程度有密切關系，由于三維激光回波信號有多值性特點。有些三維激光掃描系統只能處理反射回來的回波信號，有些三維激光掃描系統只能處理反射回來的回波信號，也有一些三維激光掃描系統能夠綜合處理和反射回來的回波信號。